淺談硅片承載器

硅片承載器是什么高科技嗎？硅片承載器其實也稱之為花籃 ，說白了硅片承載器就是一個載具，硅片承載器的出現也是為了適應國內外光伏行業的需求。例如太陽能硅片承載器能夠滿足半導體及太陽能硅片的各種生產工藝和要求。

承載器被鉤入一個晶片籠，然后這個籠子被水的液壓放入到容器中并且用一個蓋子密封起來。

容器中安裝有幾個水和氣的噴嘴（功能圖如下所示）。對于去離子水和壓縮空氣兩種介質，低壓噴嘴（可達2bar）和高壓噴嘴（可達6bar）都是可用的。在晶片籠旋轉清洗的過程中要使用去離子水和壓縮空氣。這樣是為了確保承載器的所有部位都被去離子水均勻噴涂。然后，使用無菌空氣風干晶片，最后會使用紅外線燈風干。

可使用的閥門：

蓋米600隔膜閥控制了去離子水的主要供給裝置。在這里，通過多通道閥組，去離子水被分配到容器中的各個噴嘴中。去離子水的溫度為60°C。

無菌熱空氣（大約60°C）通過蓋米554角座閥被送入裝置中，并且也被多通道閥組轉移到相應的擴散器中。這個過程是和用去離子水清洗同步執行的。

再生的廢氣通過蓋米451蝶閥排放。隨后產生的凝聚物通過蓋米610隔膜閥排放。

一個帶有電子位置指示器的蓋米410蝶閥在用過的去離子水這里起到排水閥的作用。